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「技術データ」に ウエハ型セラミックタイプ  変色の温度依存性 を追加。

「技術データ」に ウエハ型セラミックタイプ  変色の温度依存性 を追加しました。

PLAZMRK ®ウエハ型セラミックタイプ は、規格品ウエハ表面に無機色材を直接成膜したもので、耐熱温度は400℃です。

加熱せずにプラズマ処理した場合と、400℃加熱しながらプラズマ処理した場合の変色性データを追加しました。
 
Si基板サファイア基板、それぞれについてArプラズマ処理とO2プラズマ処理した結果を掲載しております。

高温プロセスのプラズマ評価をお考えのお客様は、ぜひデータをご覧ください。

* トップページ中ほど、「製品ラインナップ」の次に「技術データ」のコーナーがあります。