技術情報

  • HOME >
  • 技術情報 >
  • 「技術データ」に PLAZMARK® ラインナップ間の感度比較 を追加。

「技術データ」に PLAZMARK® ラインナップ間の感度比較 を追加。

「技術データ」に PLAZMARK® ラインナップ間の感度比較 を追加しました。

 

PLAZMARK®は、プラズマ中のラジカルやイオンの密度と照射時間の積算に対応して変色が進行します。

低密度短時間の「弱い処理」から、高密度長時間の「強い処理」までの相対的な強度の変化に対する最適なPLAZMARK®がわかるように、ガス種ごとに感度比較イメージをまとめました。

 

ガス種と対応するPLAZMARK®ラインナップは下記の通りです。

 O2プラズマ(真空)の感度比較イメージ……O2クリーニング用、耐熱性ラベル、ウエハ型セラミック、デスミア用

 Arプラズマ(真空)の感度比較イメージ……Arクリーニング用、耐熱性ラベル、ウエハ型セラミック

 CF4プラズマ(真空)の感度比較イメージ…O2クリーニング用、耐熱性ラベル、ウエハ型セラミック

PLAZMARK®の銘柄と感度を選定する際にご活用ください。

* トップページ中ほど、「製品ラインナップ」の次に「技術データ」のコーナーがあります。