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Arクリーニング用No.21による装置管理事例:(株)新川様

Ar
実施内容

 

2018年2月~2019年9月の約1年半にわたり、毎週1枚プラズマインジケータを用いて装置の状態確認を行った。

●プラズマ装置:ボンディング前処理用 Arプラズマクリーナー

●プラズマインジケータ:PLAZMARK®  Arクリーニング用 カード型 No.21高感度

●色差計:コニカミノルタ製蛍光分光濃度計 FD-5 (測定光源M1、照明系C光源、2°視野)

 

色差値の推移

2018年 2/21~12/26

装置の稼働日数が経過するにつれ変色色差が低下する傾向にあったが、12/26の庫内清掃により色差値が回復。

装置内の付着物等によるプラズマ発生状態の変化が、PLAZMARK®の変色色差に反映されたと考えられる。

 

2019年 1/3~9/9

回復した変色色差は5月ごろまで低下傾向にあったが、その後、上昇傾向に反転。

ワークが庫内汚染しにくい材質へ変更され、稼働回数が減少した時期と一致したことから、庫内清浄度が向上してPLAZMARK®の変色色差が上昇傾向になったと考えられる。