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PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較 O2プラズマ(真空)

O₂デスミア耐熱性ウエハ型

PLAZMARK®は、プラズマ中のラジカルやイオンの密度と照射時間の積算に対応して変色が進行します。

低密度短時間の「弱い処理」から、高密度長時間の「強い処理」までの相対的な強度の変化に対する最適なPLAZMARK®がわかるように、感度比較イメージを下図にまとめました。