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エキシマ洗浄工程への応用事例:ウシオ電機株式会社様

大気圧プラズマ
※本データは酸素系ラジカルを検知するプラズマインジケータ™の特性を応用し、一定条件で稼働中のエキシマ装置の評価を行うための参考データです。
 エキシマ装置と大気圧プラズマの性能比較がプラズマインジケータ™でできることを示すものではありません。

 

※本データはお客様の装置で同等の変色性を示すことを保証するものではありません。

 

※本データは装置の処理性能を絶対的に価するものではありません。
 装置の処理性能は、お客様のエキシマ処理の目的に沿った評価方法で確認してください。

 

装置情報
 メーカー:ウシオ電機株式会社
 型式:SVC232シリーズ
 
実験情報

エキシマ光照射条件:

エキシマランプ 172nm
処理室内O2濃度 20.9%、0.3%、<50ppm
照射距離 10mm
照射開始時のサンプル温度 約20℃
窓面放射発散度 50mW/cm2

使用したインジケータ:PLAZMARK®  大気圧プラズマ用 ロングラベル

           感度2段階=No.41高感度、No.42低感度

           白色PETフィルム上に、10mm幅にカットしたインジケータ2種類を貼りつけて同時処理した。

色差計:コニカミノルタ株式会社製 蛍光分光濃度計 FD-5 (測定光源M1、照明系C光源、2°視野)

照度計:ウシオ電機株式会社製 紫外線積算光量計 UIT-250(受光器 VUV-S172)

酸素濃度計:飯島電子工業株式会社製 酸素分析計 IS-700(エキシマ装置に内蔵)

 

No.41高感度ロングラベル型の変色性
 
No.42低感度ロングラベル型の変色性

 

酸素系ラジカルを検知して変色するPLAZMARK®大気圧プラズマ用は、エキシマ光照射によっても変色することが確認できた。酸素濃度が一定であれば、インジケータは積算光量に応じて変色が進行し、その反応性は変色感度設定どおりだった。

酸素系ラジカルの発生量が極めて少ないと考えられる酸素濃度<50ppmでも変色が進行したことから、インジケータはエキシマ光自体によっても変色すると考えられる。

酸素濃度や照射距離など同一条件でのエキシマ光照射の再現性確認などの相対評価を簡易的に行うのに有用と考えられる。