常圧処理工程
/ 洗浄工程向けPLAZMARK®
/ 洗浄工程向け
CHECK
BY
COLOR
プラズマ処理効果
を
色
で判定
特殊な機材や技術がなくても目視で確認できる
ラジカルやイオンを検知して変色する評価ツール
プラズマ見える化®
PLAZMARK®はプラズマ中のラジカルやイオンで
変色する色材を用いた評価ツールです。
プラズマの処理強度や処理時間に応じて
連続的に変色しますので、
プラズマ処理効果を「色で見える化」できます。
01目視で簡単評価
色で簡単に評価が可能。面内分布評価が容易に行えます。
02コスト削減
高額なプラズマ処理設備が不要。評価時間の短縮を低コストで実現します。
03生産性向上
機差や均一性をチェックして、効率をアップし安定した品質を提供します。
PLAZMARK®︎は国内外150以上の企業様にご使用いただいています
（掲載のご承諾をいただいた企業さまの一例：五十音順）Case 活用シーン
プラズマ処理のさまざまな評価、効率アップなど、多様な活用シーンをご紹介。
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Case 01 / 不良品の発生
月に1度くらいの頻度で不良が発生。手順は指導しているが作業員によってばらつきがある。
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Case 02 / 3次元形状の確認ムラ
3次元形状をムラなく表面改質できているかどうか、確認方法に悩んでいた。
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Case 03 / 装置の不具合
自社製プラズマ装置に不具合がないか、原因究明を求められた。
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Case 04 / 品質のばらつき
ラインごとの品質のバラツキを指摘され、毎日対応に追われている。
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Case 05 / 装置のコスト
プラズマクリーニングの効果確認の装置が高価で測定が面倒。
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Case 06 / 初期費用の負担が大きい
ウエハへのプラズマ処理が均一に出来ているか心配だが、現在の生産量では設備を導入する初期費用の負担が大きい
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