FAQ

ラジカルやイオンを発生させるための放電方式によらず、これら活性種がインジケータに到達すれば検知可能です。

O₂／Arクリーニング用、大気圧用、デスミア用⇒100℃
耐熱性ラベル⇒200℃
ウエハ型メタルフリータイプ⇒250℃
ウエハ型セラミックタイプ⇒400℃

プラズマ処理装置とガス種が非常に多様であることと、ラジカルやイオンの密度と処理時間の積算によってインジケータの変色が進行することから、測定可能範囲をお示しすることが困難です。ご購入前に無償サンプルでのテストをお勧めいたします。無償サンプルのご用命はこちらから。

WEBおよびカタログのガス種は弊社で変色することを確認したものだけを掲載しております。その他のガスでも変色する場合がありますので、ご購入前に無償サンプルでのテストをお勧めいたします。無償サンプルのご用命は、こちらから。

WEBおよびカタログに掲載しているガス種同士あるいは掲載しているガスとその他のガスの組み合わせの場合、お使いいただけることが多いです。ご購入前に無償サンプルでのテストをお勧めいたします。無償サンプルのご用命は、こちらから。

基インジケータ表面が成膜・コーティングで覆われてしまうと、色素にラジカルやイオンが到達しないため、正常に変色しなくなります。ただし、下記の用途ではご試用いただけます。CVD：材料ガスを流さずにキャリアガスのみで発生させたプラズマ。
スパッタ：成膜前の前処理(逆スパッタ)。蒸着：IADのイオンガンのチェック。

UV洗浄、UVオゾン洗浄ではラジカル発生量が多いので、これら活性種がインジケータに到達すれば検知可能です。UV硬化やUV現像の場合は、ラジカル発生量が少ないので変色しないことが多いです。ご購入前に無償サンプルでのテストをお勧めいたします。無償サンプルのご用命は、こちらから。

コロナ処理で発生するラジカルがインジケータに到達すれば検知可能です。ご購入前に無償サンプルでのテストをお勧めいたします。無償サンプルのご用命は、こちらから。

耐熱性ラベルをお使いの場合は保護フィルムを付けたまま処理していないか確認ください。変色が微弱な場合は色差測定すると差が見分けられる可能性があります。色差計をお持ちでない場合は弊社で測定させていただきますので お問い合わせフォームからご依頼ください。お使いのプラズマ処理に対して感度が適正でない可能性があります。処理条件を強くしていただくか、中感度・低感度のものをご使用の場合は高感度のものをお勧めいたします。

お使いのプラズマ処理に対してオーバーレンジの状態です。大幅に処理条件を弱めていただいて、感度の低いものをお試しください。

水中での使用を意図して設計したものではございませんが、変色した事例はございます。まずは一度お気軽にご相談ください。

耐熱性ラベル、ウエハ型については変色状態の経時変化の可能性がありますので、変色したインジケータの長期間の保管用途はお勧めできません。その他のラインナップはオフィス環境でのファイリングのように高温多湿を避けて遮光した状態であれば大きな経時変化はありませんが、絶対に変化しないことを保証するものではありません。

基本的にはお客様の自己責任となりますが、注意深くカットしていただければご使用いただけます。検知部分は非常にデリケートですので、カットの際の発塵や、カット時の作業による変色不良のリスクがあることを予めご了承願います。

お問い合わせフォームにて承ります。

お問い合わせフォームにて承ります。

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お問い合わせフォームにて承ります。

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直販および理化学機器・工具・真空装置部品などのお取り扱いのある商社様経由で販売させていただいております。文房具・事務用品・OA機器関係の商社様経由ではお取り扱いいただけませんので予めご了承願います。

国や地域によりお買い求めいただけます。詳しくは、お問い合わせフォームからお問い合わせください。

基本的に在庫品ですので通常は受注後5営業日以内に発送させていただきます。在庫切れにならないよう十分注意しておりますが、万一在庫切れの場合は受注時に納期をご案内させていただきます。

SDSについては、インジケータは「成形品（Article）」であり、通常の取り扱いの過程において固体以外の状態にならず、かつ粉状または粒状にならないため、使用している化学物質に関する情報のラベル表示、安全性データシートの提供等の法的な義務がないので作成しておりません。海外についても基本的には同様です。

物体の表面色について、2つの色の差を数値化したもので数値が大きいほど色の違いが大きいことを示しています。L*a*b*表色系における3次元色空間での2点間の距離である色差⊿E*abを指標にするとインジケータの変色度合いの数値化に便利です。単位はありません。

印刷物や塗装などの色管理用途で色彩計・濃度計・色差計などの名称で市販されている装置で測定可能です。

分布評価のような相対評価や、変色限度見本を作成していただくことで目視確認可能です。

お問い合わせフォームにて承ります。

ウエハ型以外は市販されているものが使えます。L*a*b*表色系で測色ができる装置であれば基本的にどのような装置であってもお使いいただけます。ウエハ型については、非接触で測定できる専用色素計がございます。詳細はお問い合わせください。

大面積タイプのインジケータをお使いいただければ目視で手軽に面内分布を確認していただけます。目視で判断が難しい場合でも、専用の色差計を使えばマッピングで簡単に見ていただくことができます。

O2, Ar, N2, H2, NH3, Air, He, CF4, SF6, Cl2 , BCl3などで変色した実績がございます。上記にないガスであっても、まずは一度サンプルでお気軽にお試しください！

最初に検量線の作成が必要にはなりますが、相関をご確認いただければ問題なく置き換えていただけます。接触角の変化が飽和する領域でも変色色差は変化を示すことが多く、より細かい評価が可能となります。

HPに掲載許可をいただいている企業様以外にも、数多くの企業様に量産現場やR&Dの用途で幅広くご採用いただいております。

インジケータは目視確認だけでなく、変色の度合いを数値化して定量的に確認していただくこともできます。相対評価ではありますが、エッチングなどの絶対的に扱える測定値と色差の検量線を取っていただくことで、日々の煩わしいプラズマチェックをインジケータで簡単にご評価いただけるので、多くのお客様にご利用いただいております。御社のお客様に対してプレゼンさせていただくこともできますのでお気軽にご相談ください。