3分でわかるPLAZMARK

3分でわかるPLAZMARK

1回あたり250円から導入できるプラズマ評価。
無償サンプル受付中。

プラズマ見える化®

Feature

PLAZMARK®は、プラズマ中のラジカルやイオンで変色する色材を用いた評価ツールです。
プラズマの処理強度や処理時間に応じて連続的に変色しますので、プラズマ処理効果を「色で見える化」できます。

  • #01目視で簡単

    「色」で簡単に評価可能。
    面内分布評価が容易。

  • #02コスト削減

    高額な設備が不要。
    評価時間の短縮を実現。

  • #03生産性向上

    機差や均一性をチェックして
    効率をアップ・品質安定。

活用シーン

Uses

  • 工程管理の効率アップ
    工程管理の効率アップ
  • 機差把握
    機差把握
  • 分布測定
    分布測定
  • こんな場所にも
    こんな場所にも

プラズマ処理のさまざまな評価、効率アップ等、
多様な ケーススタディ をご紹介

課題#01課題#01

月に1度くらいの頻度で不良が発生。手順は指導しているが、作業員によってばらつきがある。

電子部品メーカー 中国工場 生産部長Aさん
利用製品: O₂クリーニング用 カード

不良の発生率が劇的に改善。

毎日多段式の真空プラズマ装置に部品をセットしてクリーニング処理を行っているが、装置の設定が正しくされていないのではないか、処理そのものを忘れているのではないかと思われるような不良が月に1度くらい発生していた。業務手順はしっかり指導しているが、作業員によって意欲や意識にバラツキがあって、完全には防げない。何か簡便なチェック方法がないかと探していた。

展示会でPLAZMARKをみかけ、お試しサンプルをテストしてみたところ、明確な色の変化があり、処理がされたかどうか、正しい設定で行われているかどうかが一目瞭然で判断できることがわかり、品質管理部とも協議し、早速工程に導入することにした。

部品をセットするラックの各段に1枚ずつカードを設置。処理完了時に各段の変色具合を限度見本と照会し全数チェックしている。

効果:不良の発生率が劇的に改善した。コストが安いので現場判断で導入が可能、現地人スタッフが目視で簡単に使えるのがありがたい。

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課題#02課題#02

3次元形状をムラなく表面改質できているかどうか、確認方法に悩んでいた。

樹脂成型品メーカー 生産技術部 Bさん
利用製品: 大気圧用 ロングラベル

安定した品質の製品が納入できるようになった。

樹脂成型部品の接合前にプラズマ処理により表面改質をしているが、3次元形状であるため、各部をムラなく改質できているかどうか、確認方法に頭を悩ませていた。

試しにPLAZMARKの大気圧用ロングラベルを評価したところ、変色ムラが確認され、実際の表面の分析結果とも相関性が見られた。

最適な処理条件における変色具合を見極め、一日2回、始業前と昼休み後の作業再開前にPLAZMARK大気圧用ロングラベルを貼って装置のパフォーマンスの確認を実施している。色の変化は色差計を用いて数値管理し、業務日報に記載してエビデンスとして保管している。

効果:装置のパフォーマンスの経時変化を毎日のチェックで未然に防ぎ、安定した品質の製品が納入できるようになった。ユーザーからの評価も高まり、受注量も拡大傾向にある。

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課題#03課題#03

自社製プラズマ装置に不具合がないか、原因究明を求められた。

装置メーカー 顧客サービス部 係長Cさん
利用製品: O₂クリーニング用 ラベル

PLAZMARK®が原因早期究明に役立ち、以前よりも信頼いただけるようになった。

自社製真空プラズマ装置のフィールドサポートを担当するCさん。お客様から、排気パイプのシーリング部品の劣化が早過ぎる、とクレイムを受けて点検したところ、実際シーリングの傷みにより真空引きに時間がかかっていることが確認された。想定しているよりも短寿命なため、何か不具合がないか原因究明を求められた。

チャンバー内のプラズマの様子を確認するため、PLAZMARKのラベルタイプを内壁はじめ色々なところに貼り付けて実験したところ、排気ダクトの中までプラズマが届いてしまっている事実が変色により把握できた。ただちに、適切な範囲でプラズマがとどまるよう装置を調整。部品の早期劣化が繰り返さないような対策を講じることができた。

今では、定期メンテナンスの際には必ずチャンバー内のプラズマの状態確認をPLAZMARKで行い、お客様にも色の変化を一緒にみていただき、ご安心いただくツールとして活用している。また、社内においては、出荷前の最終確認にも使用している。

効果:PLAZMARKが原因早期究明に役立ち、ユーザーの工程への影響も最小限で抑えることができたため、トラブルが発生してしまったにもかかわらず、サポート力を評価いただき、結果的に以前よりも信頼関係が強くなったように感じる。

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課題#04課題#04

ラインごとの品質のバラツキを指摘され、毎日対応に追われている。

電子部品メーカー 生産技術部 課長 Dさん
利用製品: O₂クリーニング用 シートタイプ

目標とする色の変化を数値管理できるので、簡単で信頼性が高い。

同じ工程を複数の自動化ラインで大量に走らせている電子部品メーカーで生産技術部のDさんは、生産部と品質部から、ラインごとの品質のバラツキを指摘され、毎日対応に追われている。
多くの場合は、十数台稼働中のプラズマ装置に機差が生じているケースで、同じ設定で同じ処理をしているつもりなのに、同じ結果が得られない。何とか毎日の始業時点検で機差がないことを予め生産部にチェックしてもらいたいが、手間がかかるので、なかなか協力してもらえない。

以前から『簡単で低コスト』と代理店から提案を受けていたPLAZMARKのシートタイプを試しに購入し、毎朝十数台の装置に入れて同一条件で処理。各装置それぞれの面内均一性の確認をするとともに、全ての装置で色の変わり具合が同じかどうかをチェック。各装置内の均一性はほぼ保たれている一方、装置間の機差が時々発生している傾向にあることがデータとして明確につかめてきた。

これを各部門に説明し、毎朝欠かさずチェック、装置間のバラツキがないことを確認することを社内ルール化してもらった。作業は生産部で対応してくれている。生産技術部としても、工場の移設やライン拡張に伴い、装置の追加や入れ替えを行う際に、同じ変色を目安として調整できるので、非常に効率が良い。設置時の調整の際は色差計を用いて厳密に設定。毎日のチェックは一次的には限度見本との目視による突合せだけで十分。

効果:PLAZMARKの取り扱いは簡単な作業なので、生産部の協力も得られ、生産技術部が後追いで火消しに回る必要がなくなった。ラインの拡張時も目標とする色の変化を明確に数値管理できるので、簡単でしかも結果に対する信頼性も高く、大変助かっている。

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課題#05課題#05

プラズマクリーニングの効果確認の装置が高価で測定が面倒。

半導体メーカー パッケージング部門 生産部 主任 Eさん
利用製品: Arクリーニング用 カードタイプ

すぐ結果がでるので作業効率が飛躍的に改善。
しかも低コストなので頻繁に評価できて品質も向上!

ワイヤーボンディング前のプラズマクリーニングの効果を確認したい。今の手法はAuのエッチングレートによる管理であるが、装置が高価で測定は面倒だし、誰でもができる、というものではない。 しかも何しろAuなので試験片が高価で、そんなに頻繁にはやれない。購入の決裁手続きも面倒で億劫。本当はもっと高頻度でチェックしたいのだが。。。

PLAZMARKを試してみたところ、Arクリーニング用No.22では余り変化が見られなかったので、サクラクレパスに相談すると、高感度タイプのNo.21のサンプルを無償で追加提供してくれて、これが非常に良好な変色を見せた。これまでのAuエッチングレートのデータと比較すると、しっかりした相関関係があることがわかった。検量線をひいて、Auエッチングレートによる確認の置き換えに使えるめどがたった。

No.21の変色はAuのエッチングに較べて格段に短時間で起こるので、これまで数十分必要だった待ち時間がほとんど不要。しかも取り出してすぐに簡単に色差計で数値の確認ができるのでトータルの工数は大きく圧縮できている。

効果:PLAZMARKなら、短時間で確認作業が完了するので、作業効率が飛躍的に改善した。また、簡単なだけでなく、コストが大きく圧縮できるので、これまで数ヶ月に1度しか実施していなかった確認作業を毎日のルーティンに切り替えることができた。結果として品質の安定につながり、ライン全体のVEにつながっている。

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FAQ

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資料・サンプル請求、見積・面談希望

Q資料が欲しい
A

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A

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Q該非判定が欲しい
A

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Q販売ルートを教えてほしい
A

直販および理化学機器・工具・真空装置部品などのお取り扱いのある商社様経由で販売させていただいております。
文房具・事務用品・OA機器関係の商社様経由ではお取り扱いいただけませんので予めご了承願います。

Q海外で入手できるか教えてほしい
A

国や地域によりお買い求めいただけます。詳しくは、お問い合わせフォームからお問い合わせください。

Q納期を教えてほしい
A

基本的に在庫品ですので通常は受注後5営業日以内に発送させていただきます。在庫切れにならないよう十分注意しておりますが、万一在庫切れの場合は受注時に納期をご案内させていただきます。

QSDS(安全性データシート)が欲しい
A

SDSについては、インジケータは「成形品(Article)」であり、通常の取り扱いの過程において固体以外の状態にならず、かつ粉状または粒状にならないため、使用している化学物質に関する情報のラベル表示、安全性データシートの提供等の法的な義務がないので作成しておりません。海外についても基本的には同様です。

用途・使用方法について

Q使用可能圧力範囲は?
A
  大気
(10⁵Pa)
低真空域
(10⁰~10²Pa)
中真空域
(10⁰~10⁻²Pa)
高真空域
(<10⁻³Pa)
大気圧用 × ×
O₂クリーニング用 ×
Arクリーニング用 ×
耐熱性
ウエハ型セラミックタイプ
  • ○ ご使用いただけます
  • △ ご使用いただけますが真空引きが遅くなることがあります
  • × お勧めできません
Q使用可能放電方式(周波数)は?
A

ラジカルやイオンを発生させるための放電方式によらず、これら活性種がインジケータに到達すれば検知可能です。

Q使用可能温度範囲は?
A

O₂クリーニング用、Arクリーニング用、大気圧用は100℃です。
耐熱性ラベルは200℃です。
ウエハ型セラミックタイプは400℃です。

Q測定可能範囲を教えてほしい
A

プラズマ処理装置とガス種が非常に多様であることと、ラジカルやイオンの密度と処理時間の積算によってインジケータの変色が進行することから、測定可能範囲をお示しすることが困難です。
ご購入前に無償サンプルでのテストをお勧めいたします。無償サンプルのご用命はこちらから。

Q掲載されているガス以外で使えるか
A

WEBおよびカタログのガス種は弊社で変色することを確認したものだけを掲載しております。その他のガスでも変色する場合がありますので、ご購入前に無償サンプルでのテストをお勧めいたします。無償サンプルのご用命は、こちらから。

Q混合ガスでも使えるか
A

WEBおよびカタログに掲載しているガス種同士あるいは掲載しているガスとその他のガスの組み合わせの場合、お使いいただけることが多いです。ご購入前に無償サンプルでのテストをお勧めいたします。無償サンプルのご用命は、こちらから。

Qコーティング・成膜プロセスで使えるか?
A

基インジケータ表面が成膜・コーティングで覆われてしまうと、色素にラジカルやイオンが到達しないため、正常に変色しなくなります。ただし、下記の用途ではご試用いただけます。CVD:材料ガスを流さずにキャリアガスのみで発生させたプラズマ。
スパッタ:成膜前の前処理(逆スパッタ)。蒸着:IADのイオンガンのチェック。

QUVオゾン洗浄に使えるか
A

UV洗浄、UVオゾン洗浄ではラジカル発生量が多いので、これら活性種がインジケータに到達すれば検知可能です。UV硬化やUV現像の場合は、ラジカル発生量が少ないので変色しないことが多いです。ご購入前に無償サンプルでのテストをお勧めいたします。無償サンプルのご用命は、こちらから。

Qコロナ処理に使えるか
A

コロナ処理で発生するラジカルがインジケータに到達すれば検知可能です。ご購入前に無償サンプルでのテストをお勧めいたします。無償サンプルのご用命は、こちらから。

Qプラズマ処理しても色が変わりません
A

耐熱性ラベルをお使いの場合は保護フィルムを付けたまま処理していないか確認ください。
変色が微弱な場合は色差測定すると差が見分けられる可能性があります。色差計をお持ちでない場合は弊社で測定させていただきますので お問い合わせフォームからご依頼ください。
お使いのプラズマ処理に対して感度が適正でない可能性があります。処理条件を強くしていただくか、中感度・低感度のものをご使用の場合は高感度のものをお勧めいたします。

Qプラズマ処理すると色がなくなった
A

お使いのプラズマ処理に対してオーバーレンジの状態です。大幅に処理条件を弱めていただいて、感度の低いものをお試しください。

Q水中で使えるか
A

水中での使用を意図して設計したものではございません。

Q記録用途に使えるか
A

耐熱性ラベル、ウエハ型については変色状態の経時変化の可能性がありますので、変色したインジケータの長期間の保管用途はお勧めできません。
その他のラインナップはオフィス環境でのファイリングのように高温多湿を避けて遮光した状態であれば大きな経時変化はありませんが、絶対に変化しないことを保証するものではありません。

Qカットして使えるか
A

基本的にはお客様の自己責任となりますが、注意深くカットしていただければご使用いただけます。
検知部分は非常にデリケートですので、カットの際の発塵や、カット時の作業による変色不良のリスクがあることを予めご了承願います。

色差による評価について

Q色差とは?
A

物体の表面色について、2つの色の差を数値化したもので数値が大きいほど色の違いが大きいことを示しています。L*a*b*表色系における3次元色空間での2点間の距離である色差⊿E*abを指標にするとインジケータの変色度合いの数値化に便利です。単位はありません。

Q色差は何で測定できるのか
A

印刷物や塗装などの色管理用途で色彩計・濃度計・色差計などの名称で市販されている装置で測定可能です。

Q色差計は必須なのか
A

分布評価のような相対評価や、変色限度見本を作成していただくことで目視確認可能です。

Q色差を測定してほしい
A

お問い合わせフォームにて承ります

Q専用の色差計があるのか
A

ウエハ型以外は市販されているものが使えます。L*a*b*表色系で測色ができる装置であれば基本的にどのような装置であってもお使いいただけます。ウエハ型については、非接触で測定できる専用色素計がございます。詳細はお問い合わせください