常圧処理工程
/ 洗浄工程向けPLAZMARK®
/ 洗浄工程向け
Products
製品情報
製品特徴
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Feature01
ラジカル性のプラズマ検知に最適化した
インジケータO₂をはじめとした、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃に反応します。
※Arプラズマでも変色する場合があります。 -
Feature02
目的に合わせてお選びいただける３形状
気になる箇所に手軽に設置できる「カード型」
シールのように貼付け可能な「ラベル型」
大面積で分布を捉えることのできる「シート型」 -
Feature03
半導体の後工程など幅広く使用可能
- めっき前の表面改質
- ワイヤーボンディング・フリップチップボンディングなど接合面の表面改質
- 部品実装後のアンダーフィル前クリーニング
- LSI、メモリ、MEMS、LEDなど電子デバイスの封止前のクリーニング
動画
変色性能
面均一性評価への応用
仕様
PLAZMARK®O₂クリーニング用
対応ガス(プラズマ種)：O₂をはじめとするラジカル主体のプラズマ用(O₂ , N₂ , Air , CF₄ , H₂ , NH₃ , (Ar))
| No.1（高感度） | |||
|---|---|---|---|
| 形状 | カード | ラベル | シート |
| 耐熱性 | 100℃ | ||
| 構成 | 本体：PETフィルム、検知部：有機色材、レジン | ||
| サイズ | 本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm |
本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm |
本体：210×297×0.2mm 検知部：190×290mm |
| 入数 | 100枚 | 100枚 | 5枚 |
| 略号 | PLC0207-01 | PLL0207-01 | PLC2130-01 |
| No.2（中感度） | |||
|---|---|---|---|
| 形状 | カード | ラベル | シート |
| 耐熱性 | 100℃ | ||
| 構成 | 本体：PETフィルム、検知部：有機色材、レジン | ||
| サイズ | 本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm |
本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm |
本体：210×297×0.2mm 検知部：190×290mm |
| 入数 | 100枚 | 100枚 | 5枚 |
| 略号 | PLC0207-02 | PLL0207-02 | PLC2130-02 |
| No.3（低感度） | |||
|---|---|---|---|
| 形状 | カード | ラベル | シート |
| 耐熱性 | 100℃ | ||
| 構成 | 本体：PETフィルム、検知部：有機色材、レジン | ||
| サイズ | 本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm |
本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm |
本体：210×297×0.2mm 検知部：190×290mm |
| 入数 | 100枚 | 100枚 | 5枚 |
| 略号 | PLC0207-03 | PLL0207-03 | PLC2130-03 |
※感度について：No.の値が小さいほど高感度の商品となり、低出力・短時間のプラズマ処理で変色します。シリーズ間での大小は感度と無関係です。
※仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承下さい。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。
※PLAZMARK®､Plasma Indicator､プラズマ見える化、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。
※PLAZMARK®は日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。
