月に1度くらいの頻度で不良が発生！
手順は指導しているけど、作業員によってばらつきがある。
毎日多段式の真空プラズマ装置に部品をセットしてクリーニング処理を行っているが、装置の設定が正しくされていないのではないか、処理そのものを忘れているのではないかと思われるような不良が月に1度くらい発生していました。業務手順はしっかり指導していますが、作業員によって意欲や意識にバラツキがあって、完全には防げず、何か簡便なチェック方法がないかと探していました。
展示会でPLAZMARK®をみかけ、お試しサンプルをテストしてみたところ、明確な色の変化があり、処理がされたかどうか、正しい設定で行われているかどうかが一目瞭然で判断できることがわかり、品質管理部とも協議し、早速工程に導入することにしました。
部品をセットするラックの各段に1枚ずつカードを設置。処理完了時に各段の変色具合を限度見本と照会し全数チェックしています。
成果不良の発生率が劇的に改善しました。コストが安いので現場判断で導入が可能で、現地人スタッフが目視で簡単に使えるのもありがたいです。
O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。（Arプラズマでも変色する場合があります）O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。
3次元形状をムラなく表面改質できているかどうか、
確認方法に悩んでいた。
樹脂成型部品の接合前にプラズマ処理により表面改質をしているが、3次元形状であるため、各部をムラなく改質できているかどうか、確認方法に頭を悩ませてました。試しにPLAZMARK®の大気圧用ロングラベルを評価したところ、変色ムラが確認され、実際の表面の分析結果とも相関性が見られました。
最適な処理条件における変色具合を見極め、一日2回、始業前と昼休み後の作業再開前にPLAZMARK®大気圧用ロングラベルを貼って装置のパフォーマンスの確認を実施しています。色の変化は色差計を用いて数値管理し、業務日報に記載してエビデンスとして保管しています。
成果装置のパフォーマンスの経時変化を毎日のチェックで未然に防ぎ、安定した品質の製品が納入できるようになりました。ユーザーからの評価も高まり、受注量も拡大傾向にあります。
新規有機色材の開発により、大気圧プラズマのラジカル種に特化した検知性能を実現。プリント配線板製造／FPD製造／フィルム加工など、大面積の大気圧（常圧）プラズマ処理のチェックに適しています。UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。
自社製プラズマ装置に不具合がないか、原因究明を求められた。
自社製真空プラズマ装置のフィールドサポートを担当するCさん。お客様から、排気パイプのシーリング部品の劣化が早過ぎる、とクレイムを受けて点検したところ、実際シーリングの傷みにより真空引きに時間がかかっていることが確認されました。想定しているよりも短寿命なため、何か不具合がないか原因究明を求められました。
チャンバー内のプラズマの様子を確認するため、PLAZMARK®のラベルタイプを内壁はじめ色々なところに貼り付けて実験したところ、排気ダクトの中までプラズマが届いてしまっている事実が変色により把握できました。ただちに、適切な範囲でプラズマがとどまるよう装置を調整。部品の早期劣化が繰り返さないような対策を講じました。
今では、定期メンテナンスの際には必ずチャンバー内のプラズマの状態確認をPLAZMARK®で行い、お客様にも色の変化を一緒にみていただき、ご安心いただくツールとして活用しています。また、社内においては、出荷前の最終確認にも使用しています。
成果PLAZMARK®が原因早期究明に役立ち、ユーザーの工程への影響も最小限で抑えることができました。トラブルが発生したにも関わらずサポート力を評価いただき、結果的に以前よりも信頼関係が強くなったように感じます。
O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。（Arプラズマでも変色する場合があります）O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。
ラインごとの品質のバラツキを指摘され、毎日対応に追われている。
同じ工程を複数の自動化ラインで大量に走らせている電子部品メーカーで生産技術部のDさんは、生産部と品質部から、ラインごとの品質のバラツキを指摘され、毎日対応に追われていました。
多くの場合は、十数台稼働中のプラズマ装置に機差が生じているケースで、同じ設定で同じ処理をしているつもりなのに、同じ結果が得られない。何とか毎日の始業時点検で機差がないことを予め生産部にチェックしてもらいたいが、手間がかかるので、なかなか協力してもらえませんでした。
成果PLAZMARK®の取り扱いは簡単な作業なので、生産部の協力も得られ、生産技術部が後追いで火消しに回る必要がなくなくなりました。ラインの拡張時も目標とする色の変化を明確に数値管理できるので、簡単でしかも結果に対する信頼性も高く、大変助かっています。
O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。（Arプラズマでも変色する場合があります）O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。
プラズマクリーニングの効果確認の装置が高価で測定が面倒。
ワイヤーボンディング前のプラズマクリーニングの効果の確認が必要。今の手法はAuのエッチングレートによる管理ですが、装置が高価で測定は面倒だし、誰でもができる、というものではありません。しかも何しろAuなので試験片が高価で、そんなに頻繁にはできず、購入の決裁手続きも面倒で億劫。本当はもっと高頻度でチェックしたいのですが…
PLAZMARK®を試してみたところ、Arクリーニング用No.22では余り変化が見られなかったので、サクラクレパスに相談すると、高感度タイプのNo.21のサンプルを無償で追加提供してくれて、これが非常に良好な変色を見せました。これまでのAuエッチングレートのデータと比較すると、しっかりした相関関係があることがわかりました。検量線をひいて、Auエッチングレートによる確認の置き換えに使える目処が立ちました。
No.21の変色はAuのエッチングに較べて格段に短時間で起こるので、これまで数十分必要だった待ち時間がほとんど不要。しかも取り出してすぐに簡単に色差計で数値の確認ができるのでトータルの工数は大きく圧縮できています。
成果PLAZMARK®なら、短時間で確認作業が完了するので、作業効率が飛躍的に改善した。また、簡単なだけでなく、コストが大きく圧縮できるので、これまで数ヶ月に1度しか実施していなかった確認作業を毎日のルーティンに切り替えることができました。結果として品質の安定につながり、ライン全体のVEにつながっています。
O₂クリーニング用では検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できるインジケータです。ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系では、O₂クリーニング用のほうが適しています。
ウエハへのプラズマ処理が均一に出来ているか心配だが、現在の生産量では設備を導入する初期費用の負担が大きい
お客様のニーズに合わせて高付加価値なMEMS部品を製造しているが、多品種少量生産なのでなかなか歩留りが上がらず苦慮している。 ウエハのプラズマ工程における均一性の不足が原因ではないかと推測されるのだが、生産工程に検査設備を導入しようとすると、導入費用が高過ぎで、償却費が歩留り向上によるコストダウンを帳消しにしてしまいそうで踏み切れなかった。
商社から紹介されたPLAZMARK®ウエハ型を試したところ、極端なバラつきは目視で簡単に把握できたし、微妙なバラつきは色差計を使用すれば精度の高い管理も可能ということがよくわかった。導入当初はサクラクレパスに送り返して無料の色差測定サービスを利用していたが、評価の頻度や使用枚数が多くなったこともあり、今では自社で色差計を導入。
成果簡単にしかも瞬時に装置の現状把握ができるため、生産品質の顕著な向上が見られている。
最初の導入ハードルは低く、効果が実感できた時点で色差計導入に進んだので、社内の承認も非常にスムーズに得ることができて助かった。
ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、普段と同じハンドリングで、装置に設置でき、簡単に面内分布を可視化できます。放出ガスを低減し、清浄性を高めています。
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