常圧処理工程
/ 洗浄工程向けPLAZMARK®
/ 洗浄工程向け
Products
製品情報
製品特徴
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Feature01
製品ラインナップの中でNo.1の耐熱性を持つ「セラミックタイプ」
無機色材のみをウエハ上に形成し、耐熱性を400℃まで高めました。高温プロセスでも安心してご使用いただけます。クリーンな設計でLEDやMEMSなどの工程に最適です。
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Feature02
半導体製造などクリーンなプロセスに適した「メタルフリータイプ」
色材に有機色材のみ採用し、金属不純物も極限まで排除しました。 クリーン度の高さが要求されるプロセスでお使いいただけるように、より高次の清浄性をめざします。耐熱温度は250℃となっています。
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Feature03
面内分布を簡単に評価
ウエハの面内均一性を目視で確認することができます。専用の色差計を使えば、目視では確認の困難な軽微な差も認識しマッピングにより直感的に面内均一性を評価することも可能に。
動画
面内均一性評価への応用
変色の結果は専用の『プラズマインジケータ評価システム』で簡単に数値管理することが可能です。
目視では確認の困難な軽微な差も認識。マッピングにより直感的に面内均一性を評価できます。
簡単にしかも短時間で結果が得られます。
仕様
PLAZMARKウエハ型
| ウエハ型セラミックタイプ | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 形状 | ウエハ(オリフラ) | ウエハ(Vノッチ） | ||||
| 耐熱性 | 400℃ | |||||
| 構成 | 基 板 ： シリコン 検知部 ： 無機色材 |
基 板 ： サファイア 検知部 ： 無機色材 |
基 板 ： シリコン 検知部 ： 無機色材 |
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| サイズ | 本 体 ： φ4インチ 膜 厚 ： 5μm |
本 体 ： φ6インチ 膜 厚 ： 5μm |
本 体 ： φ4インチ 膜 厚 ： 5μm |
本 体 ： φ6インチ 膜 厚 ： 5μm |
本 体 ： Φ200mm 膜 厚 ： 10μm |
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| 入数 | 1枚 | |||||
| 略号 | PLW100SI | PLW150SI | PLW100SA | PLW150SA | PLW200SI | |
| ウエハ型 メタルフリータイプ | ||||
|---|---|---|---|---|
| 形状 | ウエハ(オリフラ) | ウエハ(Vノッチ） | ||
| 耐熱性 | 250℃ | |||
| 構成 | 基 板 ： シリコン 検知部 ： 有機色材、レジン |
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| サイズ | 本 体 ： Φ4インチ 膜 厚 ： 30μm |
本 体 ： Φ6インチ 膜 厚 ： 30μm |
本 体 ： Φ200mm 膜 厚 ： 30μm |
本 体 ： Φ300mm 膜 厚 ： 30μm |
| 入数 | 1枚 | |||
| 略号 | PLW100SI-MF | PLW150SI-MF | PLW200SI-MF | PLW300SI-MF |
