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大気圧プラズマ用

O₂クリーニング用

Arクリーニング用

デスミア用

耐熱性ラベル

ウエハ型

2024/09/12

PLAZMARK®　大気圧プラズマ用を使用した評価＜分布の確認＞　

#分布評価
#可視化
#変色
#大気圧プラズマ
#色差マッピング

2024/09/12

PLAZMARK®　大気圧プラズマ用を使用した評価＜接触角との相関確認＞　

#可視化
#変色
#感度比較

2024/04/24

PLAZMARK®　トーチ型大気圧プラズマ装置での分布評価例　

#分布評価
#可視化
#変色

2022/08/03

【サムコ株式会社様協力】H₂Oプラズマ利用O₂クリーニング用変色例

#H2Oプラズマ
#サムコ株式会社
#変色

2022/07/11

【ヤマト科学株式会社様協力】Arクリーニング用変色例

#Arプラズマ
#ヤマト科学株式会社
#変色

2022/07/11

【ヤマト科学株式会社様協力】 O₂クリーニング用変色例

#O2プラズマ
#ヤマト科学株式会社
#変色

2022/05/30

Arクリーニング用 No.23 変色の温度依存性

#変色
#温度依存性

2022/05/30

耐熱性ラベル型 No.102 変色の温度依存性

#変色
#温度依存性
#耐熱性ラベル

2022/05/30

耐熱性ラベル型 No.101 変色の温度依存性

#変色
#温度依存性
#耐熱性ラベル

2024/09/12

PLAZMARK®　大気圧プラズマ用を使用した評価＜分布の確認＞　

#分布評価
#可視化
#変色
#大気圧プラズマ
#色差マッピング

2024/09/12

PLAZMARK®　大気圧プラズマ用を使用した評価＜接触角との相関確認＞　

#可視化
#変色
#感度比較

2024/04/24

PLAZMARK®　トーチ型大気圧プラズマ装置での分布評価例　

#分布評価
#可視化
#変色

2022/05/18

PLAZMARK®　オゾンガスによる変色例(1)

#オゾンガス
#変色

2022/05/18

PLAZMARK®　オゾンガスによる変色例(2)

#オゾンガス
#変色

2022/05/18

PLAZMARK®大気圧プラズマ用を用いたコロナ放電の評価例：(株)サクラクレパス

#コロナ放電
#評価例

2022/05/18

エキシマ洗浄工程への応用事例：ウシオ電機株式会社様

#エキシマ洗浄工程
#応用事例

2022/08/03

【サムコ株式会社様協力】H₂Oプラズマ利用O₂クリーニング用変色例

#H2Oプラズマ
#サムコ株式会社
#変色

2022/07/11

【ヤマト科学株式会社様協力】 O₂クリーニング用変色例

#O2プラズマ
#ヤマト科学株式会社
#変色

2022/05/18

PLAZMARK®　オゾンガスによる変色例(1)

#オゾンガス
#変色

2022/05/18

O₂クリーニング用No.1変色の温度依存性

#変色
#温度依存性

2022/05/18

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　CF₄プラズマ(真空)

#CF4プラズマ
#感度比較

2022/05/18

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　 O₂プラズマ(真空)

#O2プラズマ
#感度比較

2022/05/18

光の影響（MgF₂カバーの有無と発光の影響）

#MgF2カバー

2021/01/13

活性種挙動の可視化（２）ー　基板バイアスの影響

#可視化
#基盤バイアス
#活性種挙動

2019/10/30

O₂クリーニング用 No.3 変色の温度依存性

#低感度タイプ
#変色
#温度依存性

2022/07/11

【ヤマト科学株式会社様協力】Arクリーニング用変色例

#Arプラズマ
#ヤマト科学株式会社
#変色

2022/05/30

Arクリーニング用 No.23 変色の温度依存性

#変色
#温度依存性

2022/05/18

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　Arプラズマ(真空)

#Arプラズマ
#感度比較

2022/05/18

Arクリーニング用No.21による装置管理事例：(株)新川様

#装置管理事例

2022/05/18

光の影響（MgF₂カバーの有無と発光の影響）

#MgF2カバー

2021/01/13

活性種挙動の可視化（２）ー　基板バイアスの影響

#可視化
#基盤バイアス
#活性種挙動

2021/01/13

生産装置(パナソニックコネクト株式会社製　PSX307-S)での変色例

#パナソニック
#変色例
#生産装置

2019/10/30

Arクリーニング用 No.20 変色の温度依存性

#変色
#温度依存性
#超高感度タイプ

2019/10/30

Arクリーニング用 No.21 変色の温度依存性

#変色
#温度依存性
#高感度タイプ

2022/05/18

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　 O₂プラズマ(真空)

#O2プラズマ
#感度比較

2022/05/30

耐熱性ラベル型 No.102 変色の温度依存性

#変色
#温度依存性
#耐熱性ラベル

2022/05/30

耐熱性ラベル型 No.101 変色の温度依存性

#変色
#温度依存性
#耐熱性ラベル

2022/05/18

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　Arプラズマ(真空)

#Arプラズマ
#感度比較

2022/05/18

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　CF₄プラズマ(真空)

#CF4プラズマ
#感度比較

2022/05/18

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　 O₂プラズマ(真空)

#O2プラズマ
#感度比較

2022/05/18

PLAZMARKによるマスキング効果の確認

#マスキング効果

2022/05/18

光の影響（MgF₂カバーの有無と発光の影響）

#MgF2カバー

2021/01/09

活性種挙動の可視化（１）ー　狭空間への活性種の侵入

#可視化
#活性種
#活性種挙動

2022/05/18

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　Arプラズマ(真空)

#Arプラズマ
#感度比較

2022/05/18

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　CF₄プラズマ(真空)

#CF4プラズマ
#感度比較

2022/05/18

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　 O₂プラズマ(真空)

#O2プラズマ
#感度比較

2022/05/18

ウエハ型セラミックタイプ（Si基板）変色の温度依存性

#変色
#温度依存性

2022/05/18

ウエハ型セラミックタイプ（サファイア基板）変色の温度依存性

#変色
#温度依存性

2022/05/18

光の影響（MgF₂カバーの有無と発光の影響）

#MgF2カバー

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PLAZMARK® 大気圧プラズマ用を使用した評価 ＜分布の確認＞

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【ヤマト科学株式会社様協力】Arクリーニング用変色例

【ヤマト科学株式会社様協力】 O₂クリーニング用変色例

Arクリーニング用 No.23 変色の温度依存性

耐熱性ラベル型 No.102 変色の温度依存性

耐熱性ラベル型 No.101 変色の温度依存性

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エキシマ洗浄工程への応用事例：ウシオ電機株式会社様

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【ヤマト科学株式会社様協力】 O₂クリーニング用変色例

PLAZMARK® オゾンガスによる変色例(1)

O₂クリーニング用No.1変色の温度依存性

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較 CF₄プラズマ(真空)

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較 O₂プラズマ(真空)

光の影響（MgF₂カバーの有無と発光の影響）

活性種挙動の可視化（２）ー 基板バイアスの影響

O₂クリーニング用 No.3 変色の温度依存性

【ヤマト科学株式会社様協力】Arクリーニング用変色例

Arクリーニング用 No.23 変色の温度依存性

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較 Arプラズマ(真空)

Arクリーニング用No.21による装置管理事例：(株)新川様

光の影響（MgF₂カバーの有無と発光の影響）

活性種挙動の可視化（２）ー 基板バイアスの影響

生産装置(パナソニック コネクト株式会社製 PSX307-S)での変色例

Arクリーニング用 No.20 変色の温度依存性

Arクリーニング用 No.21 変色の温度依存性

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較 O₂プラズマ(真空)

耐熱性ラベル型 No.102 変色の温度依存性

耐熱性ラベル型 No.101 変色の温度依存性

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較 Arプラズマ(真空)

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較 CF₄プラズマ(真空)

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較 O₂プラズマ(真空)

PLAZMARKによるマスキング効果の確認

光の影響（MgF₂カバーの有無と発光の影響）

活性種挙動の可視化（１）ー 狭空間への活性種の侵入

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較 Arプラズマ(真空)

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較 CF₄プラズマ(真空)

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較 O₂プラズマ(真空)

ウエハ型セラミックタイプ（Si基板）変色の温度依存性

ウエハ型セラミックタイプ（サファイア基板）変色の温度依存性

光の影響（MgF₂カバーの有無と発光の影響）

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PLAZMARK®　トーチ型大気圧プラズマ装置での分布評価例　

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PLAZMARK®　大気圧プラズマ用を使用した評価＜接触角との相関確認＞　

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PLAZMARK®　オゾンガスによる変色例(1)

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PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　CF₄プラズマ(真空)

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活性種挙動の可視化（２）ー　基板バイアスの影響

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活性種挙動の可視化（２）ー　基板バイアスの影響

生産装置(パナソニックコネクト株式会社製　PSX307-S)での変色例

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　 O₂プラズマ(真空)

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　Arプラズマ(真空)

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　CF₄プラズマ(真空)

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　 O₂プラズマ(真空)

活性種挙動の可視化（１）ー　狭空間への活性種の侵入

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　Arプラズマ(真空)

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　CF₄プラズマ(真空)

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　 O₂プラズマ(真空)