Technical Data
技術データ※本データはお客様の装置で同等の変色性を示すことを保証するものではありません。
※本データは装置の処理性能を絶対的に評価するものではありません。
装置の処理性能は、お客様のプラズマ処理の目的に沿った評価方法で確認してください。
H2Oプラズマによる変色テスト
ラジカル種と反応するPLAZMARK®O₂クリーニング用No.1～3カードの H₂Oプラズマによる変色性を調査した。
処理装置：サムコ株式会社 製 Aqua Plasma® Cleaner AQ-2000
| 処理条件：水蒸気、処理時間60～1,200s、RF出力500W インジケータ：PLAZMARK® O₂クリーニング用No.1(高感度)～No.3(低感度) ラベル色差計：コニカミノルタ株式会社製 蛍光分光濃度計 FD-5 （測定光源M1、照明系C光源、2°視野 |
| 処理条件：水蒸気、処理時間180s、RF出力100~800W インジケータ：PLAZMARK®O₂クリーニング用No.1(高感度)～No.3(低感度) ラベル色差計：コニカミノルタ株式会社製 蛍光分光濃度計 FD-5 （測定光源M1、照明系C光源、2°視野） |
PLAZMARK®O₂クリーニング用No.1~No.3カードは H₂Oプラズマで変色し、処理時間・処理強度の増大と共に変色色差が増大することが確認できた。
記事で紹介した商品
実装工程 / 後工程向け
PLAZMARK® O₂クリーニング用
O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。（Arプラズマでも変色する場合があります）O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。
