製品ラインナップ

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概要

ラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータ

O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。
(Arプラズマでも変色する場合があります)
O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

  • めっき前の表面改質
  • ワイヤーボンディング・フリップチップボンディングなど接合面の表面改質
  • 部品実装後のアンダーフィル前クリーニング
  • LSI、メモリ、MEMS、LEDなど電子デバイスの封止前のクリーニング
ラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータ

製品紹介動画

ラインナップ

感度3種類、形状3種類

  • 置くだけカード形状
    置くだけカード形状
  • 貼り付け可能なラベル形状
    貼り付け可能なラベル形状
  • 大面積分布評価用シート形状
    大面積分布評価用シート形状

変色性能

  • 低周波プラズマ装置【O2】
    低周波プラズマ装置【O₂】
  • 平行平板RFプラズマ装置【O2】
    平行平板RFプラズマ装置【O₂】

面均一性評価への応用

  • 色調変化で面均一性を評価可能
    色調変化で面均一性を評価可能
  • 色差マッピング例(1,000sccm, 1.0kW)
    色差マッピング例(1,000sccm, 1.0kW)

仕様

PLAZMARK®O₂クリーニング用

対応ガス(プラズマ種):O₂をはじめとするラジカル主体のプラズマ用(O₂ , N₂ , Air , CF₄ , H₂ , NH₃ , (Ar))

No.1(高感度)

形状 カード ラベル シート
耐熱性 100℃
構成 本体:PETフィルム、検知部:有機色材、レジン
サイズ 本体:20×70×0.2mm
検知部:φ11mm
本体:20×70×0.2mm
検知部:φ11mm
本体:210×297×0.2mm
検知部:190×290mm
入数 100枚 100枚 5枚
略号 PLC0207-01 PLL0207-01 PLC2130-01

No.2(中感度)

形状 カード ラベル シート
耐熱性 100℃
構成 本体:PETフィルム、検知部:有機色材、レジン
サイズ 本体:20×70×0.2mm
検知部:φ11mm
本体:20×70×0.2mm
検知部:φ11mm
本体:210×297×0.2mm
検知部:190×290mm
入数 100枚 100枚 5枚
略号 PLC0207-02 PLL0207-02 PLC2130-02

No.3(低感度)

形状 カード ラベル シート
耐熱性 100℃
構成 本体:PETフィルム、検知部:有機色材、レジン
サイズ 本体:20×70×0.2mm
検知部:φ11mm
本体:20×70×0.2mm
検知部:φ11mm
本体:210×297×0.2mm
検知部:190×290mm
入数 100枚 100枚 5枚
略号 PLC0207-03 PLL0207-03 PLC2130-03

感度について:No.の値が小さいほど高感度の商品となり、低出力・短時間のプラズマ処理で変色します。
シリーズ間での大小は感度と無関係です。

仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承下さい。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。
PLAZMARK、Plasma Indicator、プラズマ見える化、プラズマインジケータは(株)サクラクレパスの商標または登録商標です。
PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。