※本データはお客様の装置で同等の変色性を示すことを保証するものではありません。
※本データは装置の処理性能を絶対的に評価するものではありません。
装置の処理性能は、お客様のプラズマ処理の目的に沿った評価方法で確認してください。

装置情報

• メーカー：ヤマト科学株式会社、型式：PDC210
• 処理条件：RIEモード、RF出力100~400W、処理ガス Ar
• 使用したインジケータ：PLAZMARK®　Arクリーニング用　ラベル
• 感度4段階＝No.20～23
• 色差計：コニカミノルタ株式会社製 蛍光分光濃度計 FD-5 （測定光源M1、照明系C光源、2°視野）

出力依存・処理時間依存について

感度が高いと飽和してしまい、低いとほとんど変色しないという結果になった。
橙枠のような適度な傾きで変化する「感度」を選ぶ必要性があると言える。

接触角と色差の相関性について

接触角との相関について飽和傾向が強く、直線関係の相関はとりにくい。