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【サムコ株式会社様協力】H₂Oプラズマ利用O₂クリーニング用変色例

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【ヤマト科学株式会社様協力】 O₂クリーニング用変色例

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PLAZMARK®　オゾンガスによる変色例(1)

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O₂クリーニング用No.1変色の温度依存性

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PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　CF₄プラズマ(真空)

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PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　 O₂プラズマ(真空)

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活性種挙動の可視化（２）ー　基板バイアスの影響

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O₂クリーニング用 No.3 変色の温度依存性

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O₂クリーニング用 No.2 変色の温度依存性

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