Technical Data

PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較 CF4プラズマ(真空)

PLAZMARK®は、プラズマ中のラジカルやイオンの密度と照射時間の積算に対応して変色が進行します。

低密度短時間の「弱い処理」から、高密度長時間の「強い処理」までの相対的な強度の変化に対する最適なPLAZMARK®がわかるように、感度比較イメージを下図にまとめました。

記事で紹介した商品

実装工程 / 後工程向け

PLAZMARK® O₂クリーニング用

O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。(Arプラズマでも変色する場合があります)O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

PLAZMARK® O₂クリーニング用

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