※本データはプラズマインジケータ™の変色事例の一つであり、お客様の装置で同等の変色性を示すことを保証するものではありません。
※本データは装置のエッチング特性を定量的に評価するものではありません。装置の処理性能は、お客様のプラズマ処理の目的に沿った評価方法で確認してください。

装置情報

メーカー：パナソニック コネクト株式会社
装置名：PSX307-S

実験情報

プラズマ処理条件：Arガス5sccm、RF出力100~600W、処理時間5~60s
プラズマインジケータ™：PLAZMARK®　 Arクリーニング用

形状2種＝カード型およびラベル型、　
感度4段階＝No.20超高感度～No.23低感度

●カード型：FR-4基板(銅箔無、t=0.8mm)にポリイミドテープで固定したものを電極上に設置
●ラベル型：電極に直接貼付け

装置処理エリアの5か所に配置してプラズマ処理を行ない、
５か所それぞれの処理前後の色差を平均して評価を行った。

色差計：コニカミノルタ株式会社製 蛍光分光濃度計 FD-5 （測定光源M1、照明系C光源、2°視野）

カード型の変色性

No.20(超高感度)カードは色差変化が飽和領域に近い(⊿E*ab＞40)ため、出力や時間の違いによる色差変化が小さかった。
出力、処理時間により、使用を推奨するArクリーニング用カード型の感度は下表の通り。

	No.20超高感度	No.21高感度	No.22中感度	No.23低感度
100W　20s	〇	〇	×(感度不足)	×(感度不足)
300W　20s	×(飽和)	〇	〇	〇
600W　5s	△	〇	〇	〇
600W　20s	×(飽和)	〇	〇	〇
600W　60s	×(飽和)	×(飽和)	×(飽和)	×(飽和)

ラベル型の変色性

No.20(超高感度)ラベルは色差変化が飽和領域に近い(⊿E*ab＞40)ため、出力や時間の違いによる色差変化が小さかった。
出力、処理時間により、使用を推奨するArクリーニング用ラベル型の感度は下表の通り。

	No.20超高感度	No.21高感度	No.22中感度	No.23低感度
100W　20s	〇	〇	×(感度不足)	×(感度不足)
300W　20s	〇	〇	×(感度不足)	×(感度不足)
600W　5s	〇	〇	×(感度不足)	×(感度不足)
600W　20s	△	〇	〇	〇
600W　60s	△	×(飽和)	〇	〇

カード型とラベル型の比較

同じ処理条件で比較すると、カード型よりも貼付け可能なラベル型のほうが色差が小さくなる傾向が確認された。

カード型はプラズマからの入熱の逃げ場がないため実際は高温条件となってしまうのに対し、ラベル型は粘着剤により裏面が全面密着しているためプラズマからの入熱が裏面に効率的に放熱されて温度上昇を起こしにくいためと考えられる。

参考技術データ　Arクリーニング用　No.20　No.21　No.22　No.23　変色の温度依存性

エッチングレートとの相関

（Auエッチングレートはパナソニック コネクト株式会社様ご提供データ）