Technical Data

生産装置(パナソニック コネクト株式会社製 PSX307-S)での変色例

※本データはプラズマインジケータ™の変色事例の一つであり、お客様の装置で同等の変色性を示すことを保証するものではありません。
※本データは装置のエッチング特性を定量的に評価するものではありません。装置の処理性能は、お客様のプラズマ処理の目的に沿った評価方法で確認してください。

装置情報

メーカー:パナソニック コネクト株式会社
装置名:PSX307-S

実験情報

プラズマ処理条件:Arガス5sccm、RF出力100~600W、処理時間5~60s
プラズマインジケータ™:PLAZMARK®  Arクリーニング用

形状2種=カード型およびラベル型、 感度4段階=No.20超高感度~No.23低感度
カード型はFR-4基板(銅箔無、t=0.8mm)にポリイミドテープで固定したものを電極上に設置した。ラベル型は電極に直接貼付けた。装置処理エリアの下記5か所に配置してプラズマ処理を行った。 

色差計:コニカミノルタ株式会社製 蛍光分光濃度計 FD-5 (測定光源M1、照明系C光源、2°視野)

カード型の変色性

No.20(超高感度)カードは色差変化が飽和領域に近い(⊿E*ab>40)ため、出力や時間の違いによる色差変化が小さかった。
出力、処理時間により、使用を推奨するArクリーニング用カード型の感度は下表の通り。

No.20超高感度No.21高感度No.22中感度No.23低感度
100W 20s×(感度不足)×(感度不足)
300W 20s×(飽和)
600W 5s
600W 20s×(飽和)
600W 60s×(飽和)×(飽和)×(飽和)×(飽和)
〇使用できる  △処理したかどうかのみ判定可能  ×使用に適さない

ラベル型の変色性

No.20(超高感度)ラベルは色差変化が飽和領域に近い(⊿E*ab>40)ため、出力や時間の違いによる色差変化が小さかった。
出力、処理時間により、使用を推奨するArクリーニング用ラベル型の感度は下表の通り。

No.20超高感度No.21高感度No.22中感度No.23低感度
100W 20s×(感度不足)×(感度不足)
300W 20s×(感度不足)×(感度不足)
600W 5s×(感度不足)×(感度不足)
600W 20s
600W 60s×(飽和)
〇使用できる  △処理したかどうかのみ判定可能  ×使用に適さない

カード型とラベル型の比較

同じ処理条件で比較すると、カード型よりも貼付け可能なラベル型のほうが色差が小さくなる傾向が確認された。

カード型はプラズマからの入熱の逃げ場がないため実際は高温条件となってしまうのに対し、ラベル型は粘着剤により裏面が全面密着しているためプラズマからの入熱が裏面に効率的に放熱されて温度上昇を起こしにくいためと考えられる。

参考技術データ Arクリーニング用 No.20 No.21 No.22 No.23 変色の温度依存性

エッチングレートとの相関

(Auエッチングレートはパナソニック コネクト株式会社様ご提供データ)

記事で紹介した商品

実装工程 / 後工程向け

PLAZMARK® Arクリーニング用

O₂クリーニング用では検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できるインジケータです。ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系では、O₂クリーニング用のほうが適しています。

PLAZMARK® Arクリーニング用

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