Technical Data
技術データウエハを隙間(1mm)を設けて設置し、その隙間に侵入する活性種の動きを、ウエハ裏面に貼り付けたPLAZMARK®耐熱性No.101で評価した。
テスト方法
![](https://plazmark.craypas.co.jp/wp/wp-content/uploads/2022/05/9bb448767c6e313353b265b18f8aadd6.jpeg)
結果
![](https://plazmark.craypas.co.jp/wp/wp-content/uploads/2022/05/53937f43243048a303525d2ae3cc6532.jpeg)
Arプラズマ処理と酸素プラズマ処理で比較
・O2プラズマ処理:ウエハ裏面側中心部まで変色したことから、 回り込む長寿命の酸素ラジカルの存在が示唆された。
・Arプラズマ処理:ウエハ裏面は変色しなかったため、 Arイオンは裏面側には回り込まないと考えられる。
記事で紹介した商品
常圧処理工程 / 洗浄工程向け
PLAZMARK® 耐熱ラベル
フレキシブル性、接着性がありますので、基板表面や装置内に自由に張り付け評価できます。
![PLAZMARK® 耐熱ラベル](https://plazmark.craypas.co.jp/img/technical_data/eyecatch_heat.jpg)
記事中で紹介した商品