Technical Data
技術データ光の影響（MgF2カバーの有無と発光の影響）
MgF2カバーの有無により、プラズマ処理中の発光の影響を検証。
MgF2カバーしたインジケータとしていないものを、同時にArまたはO2プラズマ処理した結果、MgF2カバーした方はほとんど変色しなかった。このことから、プラズマインジケータの変色に対するプラズマ発光の影響は非常に小さい。
※ 実験に使用したMgF2板：ピアーオプティックス株式会社製 透過率データはメーカーの下記URLご参照ください。
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