Technical Data
技術データ光の影響(MgF₂カバーの有無と発光の影響)
MgF₂カバーの有無により、プラズマ処理中の発光の影響を検証。
![](https://plazmark.craypas.co.jp/wp/wp-content/uploads/2022/05/Ardata-1024x536-1.png)
![](https://plazmark.craypas.co.jp/wp/wp-content/uploads/2022/05/O2data-1024x536-1.png)
MgF2カバーしたインジケータとしていないものを、同時にArまたはO2プラズマ処理した結果、MgF2カバーした方はほとんど変色しなかった。このことから、プラズマインジケータの変色に対するプラズマ発光の影響は非常に小さい。
![](https://plazmark.craypas.co.jp/wp/wp-content/uploads/2022/05/9bc2e3c5b6b02dac474d7907dd2a58a1-1024x493-1.png)
![](https://plazmark.craypas.co.jp/wp/wp-content/uploads/2022/05/4263b0ced91697b97449f07536659ce4-1024x418-1.png)
※ 実験に使用したMgF2板:ピアーオプティックス株式会社製 透過率データはメーカーの下記URLご参照ください。
記事で紹介した商品
実装工程 / 後工程向け
PLAZMARK® O₂クリーニング用
O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。(Arプラズマでも変色する場合があります)O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。
![PLAZMARK® O₂クリーニング用](https://plazmark.craypas.co.jp/img/technical_data/eyecatch_o2.jpg)
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