Technical Data
技術データ光の影響（MgF₂カバーの有無と発光の影響）
MgF₂カバーの有無により、プラズマ処理中の発光の影響を検証。
MgF2カバーしたインジケータとしていないものを、同時にArまたはO2プラズマ処理した結果、MgF2カバーした方はほとんど変色しなかった。このことから、プラズマインジケータの変色に対するプラズマ発光の影響は非常に小さい。
※ 実験に使用したMgF2板：ピアーオプティックス株式会社製 透過率データはメーカーの下記URLご参照ください。
記事で紹介した商品
実装工程 / 後工程向け
PLAZMARK® O₂クリーニング用
O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。（Arプラズマでも変色する場合があります）O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。
