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実装工程 / 後工程向け

PLAZMARK® Arクリーニング用

O₂クリーニング用では検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できるインジケータです。ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系では、O₂クリーニング用のほうが適しています。

製品特徴

Feature
01

イオン性のプラズマ検知に最適化したインジケータ

ArやHeなど、O₂クリーニング用では検知しにくいイオン性のプラズマを効率よく検知できます。
※ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系では、O₂クリーニング用のほうが適しています。
Feature
02

目的に合わせてお選びいただける３形状

気になる箇所に手軽に設置できる「カード型」
シールのように貼付け可能な「ラベル型」
大面積で分布を捉えることのできる「シート型」
Feature
03

半導体の後工程など幅広く使用可能
- めっき前の表面改質
- ワイヤーボンディング・フリップチップボンディングなど接合面の表面改質
- 部品実装後のアンダーフィル前クリーニング
- LSI、メモリ、MEMS、LEDなど電子デバイスの封止前のクリーニング

動画

変色性能

仕様

PLAZMARK®Arクリーニング用

対応ガス(プラズマ種)：Arをはじめとするイオン主体のプラズマ用（O₂クリーニング用で検知困難なAr等の希ガス）

	No.20（超高感度）
形状	カード	ラベル	シート
耐熱性	100℃
構成	本体：PETフィルム、検知部：有機色材、レジン
サイズ	本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm	本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm	本体：210×297×0.2mm 検知部：190×290mm
入数	100枚	100枚	5枚
略号	PLC0207-20	PLL0207-20	PLC2130-20

	No.21（高感度）
形状	カード	ラベル	シート
耐熱性	100℃
構成	本体：PETフィルム、検知部：有機色材、レジン
サイズ	本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm	本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm	本体：210×297×0.2mm 検知部：190×290mm
入数	100枚	100枚	5枚
略号	PLC0207-21	PLL0207-21	PLC2130-21

	No.22（中感度）
形状	カード	ラベル	シート
耐熱性	100℃
構成	本体：PETフィルム、検知部：有機色材、レジン
サイズ	本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm	本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm	本体：210×297×0.2mm 検知部：190×290mm
入数	100枚	100枚	5枚
略号	PLC0207-22	PLL0207-22	PLC2130-22

	No.23（低感度）
形状	カード	ラベル	シート
耐熱性	100℃
構成	本体：PETフィルム、検知部：有機色材、レジン
サイズ	本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm	本体：20×70×0.2mm 検知部：φ11mm	本体：210×297×0.2mm 検知部：190×290mm
入数	100枚	100枚	5枚
略号	PLC0207-23	PLL0207-23	PLC2130-23

※感度について：No.の値が小さいほど高感度の商品となり、低出力・短時間のプラズマ処理で変色します。シリーズ間での大小は感度と無関係です。
※仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承下さい。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。
※PLAZMARK®､Plasma Indicator､プラズマ見える化、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。
※PLAZMARK®は日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。