What is

PLAZMARK®が
選ばれる4つの理由

Reasons

• REASON

  01

  「プラズマ見える化®」により
  チェックが可能

  目に見えないプラズマ処理の効果を、色でわかりやすく見える化したPLAZMARK®を使用すれば、プラズマの強度に応じて連続的に変色するので、プラズマ処理の効果を細かく評価することができます。

  CHECK 01

  プラズマが当たっているかどうかを確認する

  • 正常状態の確認
  • 再現性の確認
  • 装置管理

  CHECK 02

  プラズマの均一性、分布を確認する

  • 面内分布の確認
  • 異常放電検知の確認
  • 3次元形状での効果確認

  CHECK 03

  周辺へのプラズマの影響を確認する。

  • プラズマ閉じ込め効果の確認
  • 周辺部材への影響を確認

  CHECK 04

  同型装置、同一プロセス装置の処理効果を確認する

  • 装置間バラツキの低減
  • 早急なトラブルシューティング
• REASON

  02

  評価は簡単3ステップ

  セッティングはステージ面に置いたり、壁面に貼り付けたり、装置にセットするだけなので、専門的なスキルがなくても、手間なく簡単に行えます。また、PLAZMARK®は様々な場所で使えるように4種類の形状から選べるので、幅広いニーズに対応します。

  • 置くだけ

  • 貼るだけ

  • 見るだけ

• REASON

  03

  チェックは簡単、コストは圧縮

  たとえば、プラズマクリーニングの効果確認には、これまで高価な装置が必要であったり、測定に手間がかかっていましたが、プラズマインジケータなら目視でのチェックが可能です。誰もが簡単正確に短時間でチェックできるので、作業効率アップやコスト圧縮に貢献します。

• REASON

  04

  目的・用途に応じたラインナップ。

  接合面のクリーニングに使用する「クリーニング用」、発光分析では評価できないプラズマの分布を簡単に評価可能できる「ウエハ型」、高速なプラズマ処理にも反応する「大気圧プラズマ用」などの種類があり、目的や用途に応じた製品を取り揃えています。

さまざまな業界で使われています

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