What is

change_color

プラズマ見える化®

PLAZMARK®はプラズマ中のラジカルやイオンで
変色する色材を用いた評価ツールです。
プラズマの処理強度や処理時間に応じて
連続的に変色しますので、
プラズマ処理効果を「色で見える化」できます。

プラズマ強度によって変色します。

プラズマ強度によって変色します。
※PLAZMARK® O2クリーニング用、Arクリーニング用の例

こんなお困りごとありませんか?

  • 分布と再現性が確認できず、不良品が発生している…
  • 装置の費用や測定の手間によるコストが発生してしまう
  • プラズマの評価方法に統一性がなく、結果がばらつきが気になる
  • 3次元形状だから処理ムラの確認がしづらいのが悩み

PLAZMARK®が全て解決します。

低価格で導入できるプラズマ評価。
無償サンプル受付中。

  • 01機材導入コスト
    削減
  • 02結果の
    ばらつきを
    抑える
  • 03目視で
    簡単チェック

効率アップ大幅なコストカット
実現します

Movie

Reasons

  • REASON
    01

    「プラズマ見える化®」により
    チェックが可能

    目に見えないプラズマ処理の効果を、色でわかりやすく見える化したPLAZMARK®を使用すれば、プラズマの強度に応じて連続的に変色するので、プラズマ処理の効果を細かく評価することができます。

    「プラズマ見える化®」によりチェックが可能
    CHECK 01

    プラズマが当たっているかどうかを確認する

    • 正常状態の確認
    • 再現性の確認
    • 装置管理
    CHECK 02

    プラズマの均一性、分布を確認する

    • 面内分布の確認
    • 異常放電検知の確認
    • 3次元形状での効果確認
    CHECK 03

    周辺へのプラズマの影響を確認する。

    • プラズマ閉じ込め効果の確認
    • 周辺部材への影響を確認
    CHECK 04

    同型装置、同一プロセス装置の処理効果を確認する

    • 装置間バラツキの低減
    • 早急なトラブルシューティング
  • REASON
    02

    評価は簡単3ステップ

    セッティングはステージ面に置いたり、壁面に貼り付けたり、装置にセットするだけなので、専門的なスキルがなくても、手間なく簡単に行えます。また、PLAZMARK®は様々な場所で使えるように4種類の形状から選べるので、幅広いニーズに対応します。

    評価は簡単3ステップ
    • 置くだけ

      置くだけ
    • 貼るだけ

      貼るだけ
    • 見るだけ

      見るだけ
  • REASON
    03

    チェックは簡単、コストは圧縮

    たとえば、プラズマクリーニングの効果確認には、これまで高価な装置が必要であったり、測定に手間がかかっていましたが、プラズマインジケータなら目視でのチェックが可能です。誰もが簡単正確に短時間でチェックできるので、作業効率アップやコスト圧縮に貢献します。

    チェックは簡単、コストは圧縮

    数値で変色度合いの評価が可能

    一般に分光光度計・色彩計などの名称で市販されている装置※によって、変色度合いを数値化することができます。
    数値化することで、目視判断しづらい微妙な色味の差であっても、簡単に評価することができます。
    ※インジケーターのための専用品や推奨品はございません(一部商品を除く)。

    数値で変色度合いの評価が可能
  • REASON
    04

    目的・用途に応じたラインナップ。

    接合面のクリーニングに使用する「クリーニング用」、発光分析では評価できないプラズマの分布を簡単に評価可能できる「ウエハ型」、高速なプラズマ処理にも反応する「大気圧プラズマ用」などの種類があり、目的や用途に応じた製品を取り揃えています。

    目的・用途に応じたラインナップ。

How to use

01
プラズマ処理効果の確認

プラズマ処理効果の確認
  • 正常状態の確認
  • 再現性の確認
  • 装置管理

02
面内分布の確認

面内分布の確認
  • 面内分布の確認
  • 異常放電検知
  • 3次元形状での効果確認

03
プラズマの広がりを確認

プラズマの広がりを確認
  • プラズマ閉じ込め効果の確認
  • 周辺部材への影響を確認
  • 裏側の回り込み、排気ボードへの侵入の確認

04
装置間の性能差の確認

装置間の性能差の確認
  • 装置間バラツキの低減
  • 早急なトラブルシューティング

Voice

アイコン01
電子部品メーカー / 中国工場 生産部長Aさん

月に1度くらいの頻度で不良が発生!
手順は指導しているけど、作業員によってばらつきがある。

成果

不良の発生率が劇的に改善しました。コストが安いので現場判断で導入が可能で、現地人スタッフが目視で簡単に使えるのもありがたいです。

アイコン02
樹脂成型品メーカー / 生産技術部Bさん

3次元形状をムラなく表面改質できているかどうか、
確認方法に悩んでいた。

成果

装置のパフォーマンスの経時変化を毎日のチェックで未然に防ぎ、安定した品質の製品が納入できるようになりました。ユーザーからの評価も高まり、受注量も拡大傾向にあります。

さまざまな業界で使われています

  • 半導体業界
    半導体業界
  • 自動車業界
    自動車業界
  • ディスプレイメーカー
    ディスプレイメーカー
  • 医療業界
    医療業界

Contact

「自社のこの工程に利用できる?」「こういった使用環境の利用は可能?」など、お気軽にご相談ください。