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プリント配線板製造／FPD製造／フィルム加工など、大面積の大気圧（常圧）プラズマ処理のチェックに適しています

新規有機色材の開発により、大気圧プラズマのラジカル種に特化した検知性能を実現。プリント配線板製造／FPD製造／フィルム加工など、大面積の大気圧（常圧）プラズマ処理のチェックに適しています。UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

ラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータ

O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。（Arプラズマでも変色する場合があります）O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

O₂クリーニングでは検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できるインジケータ

O₂クリーニング用では検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できるインジケータです。ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系では、O₂クリーニング用のほうが適しています。

色材に無機材料、基材にポリイミドを採用することにより、ラベル型でありながら高い耐熱性（200℃）を実現

フレキシブル性、接着性がありますので、基板表面や装置内に自由に張り付け評価できます。

普段と同じハンドリングで、簡単に面内分布を可視化

ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、普段と同じハンドリングで、装置に設置でき、簡単に面内分布を可視化できます。放出ガスを低減し、清浄性を高めています。