※本データはお客様の装置で同等の変色性を示すことを保証するものではありません。
※本データは装置の処理性能を絶対的に評価するものではありません。
装置の処理性能は、お客様のプラズマ処理の目的に沿った評価方法で確認してください。

装置情報

• 装置方式：ICP(RF)
• RFパワー：500Ｗ
• ガス圧：10Pa（混合ガスの場合、流量比1:1）
• 処理時間：10min
• 色差計：コニカミノルタ株式会社製 蛍光分光濃度計 FD-5 （測定光源M1、照明系C光源、2°視野）

評価内容

ウエハ型メタルフリータイプを用いて、
それぞれのガス種で処理した際における変色性の違いを確認した。

ガス種は次の7種類で実験。
➡O2/ Ar/ SF6/ CF4/ Ar+O2/ SF6+O2/ CF4+O2　

結果

※ウエハ型メタルフリータイプの飽和値は⊿E*ab=45程度

まとめ

使用するガス種によっては、ガス種以外が同じ処理条件であっても変色性に差が生じてしまうことが確認された。

ガス系では、O2プラズマに対する変色性が大きい。
Ar、CF4に酸素を混ぜると色差は増大するのに対し、SF6では酸素の混合効果は見られなかった。