※本データは、当社評価条件下での測定結果です。
　お客様の装置や条件において、同様の飛散挙動を示すことを保証するものではありません。
※お客様のご使用環境における飛散挙動については、目的に応じた評価を実施のうえご確認ください。

使用するインジケータ

ウエハ型メタルフリータイプ

評価内容

インジケータ処理時に不純物元素が飛散するかを
隣接設置したSiウエハ上でのTXRF測定にて評価を行った。
　（Refのため、インジケータ無の状態と比較）

<イメージ図>

結果

まとめ

カルシウムをはじめとした特異な元素の飛散は検出されなかった。
硫黄、塩素、亜鉛については飛散が確認されているが、
無しの状態でも検出されていることから試験環境依存によるものと考えられる。