PLAZMARK 技術データ

光の影響(MgF2カバーの有無と発光の影響)

O₂Ar耐熱性ウエハ型

MgF2カバーの有無により、プラズマ処理中の発光の影響を検証。

 

MgF2カバーしたインジケータとしていないものを、同時にArまたはO2プラズマ処理した結果、MgF2カバーした方はほとんど変色しなかった。このことから、プラズマインジケータの変色に対するプラズマ発光の影響は非常に小さい。

※ 実験に使用したMgF2板:ピアーオプティックス株式会社製 透過率データはメーカーの下記URLご参照ください。

ピアーオプティックス株式会社|透過率データ