ウエハを隙間(1mm)を設けて設置し、その隙間に侵入する活性種の動きを、ウエハ裏面に貼り付けたPLAZMARK®耐熱性No.101で評価した。

テスト方法

結果

Arプラズマ処理と酸素プラズマ処理で比較
・O2プラズマ処理：ウエハ裏面側中心部まで変色したことから、 回り込む長寿命の酸素ラジカルの存在が示唆された。
・Arプラズマ処理：ウエハ裏面は変色しなかったため、 Arイオンは裏面側には回り込まないと考えられる。