HOME 技術データ O₂クリーニング用 No.2 変色の温度依存性
いずれも温度が高いほど処理前後の変色色差⊿E*abは大きくなる傾向が見られた。
O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。（Arプラズマでも変色する場合があります）O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。
記事中で紹介した商品
「自社のこの工程に利用できる？」「こういった使用環境の利用は可能？」など、お気軽にご相談ください。
