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活性種挙動の可視化(1)ー 狭空間への活性種の侵入

耐熱性

ウエハを隙間(1mm)を設けて設置し、その隙間に侵入す活性種の動きを、ウエハ裏面に貼り付けたPLAZMARK®耐熱性No.101で評価した。

【テスト方法】

【結果】

Arプラズマ処理と酸素プラズマ処理で比較

・O2プラズマ処理:ウエハ裏面側中心部まで変色したことから、 回り込む長寿命の酸素ラジカルの存在が示唆された。

・Arプラズマ処理:ウエハ裏面は変色しなかったため、 Arイオンは裏面側には回り込まないと考えられる。