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高温プロセス向け

PLAZMARK®耐熱ラベル

フレキシブル性、接着性がありますので、基板表面や装置内に自由に貼り付け評価できます。

耐熱性スライド01
耐熱性スライド02
耐熱性スライド03
耐熱性スライド04

    製品特徴

    • Feature
      01

      高温プロセスに対応し、使い勝手の良い形状

      選び抜いた素材によって得られた耐熱性だけでなく、フレキシブル性も兼ね備えています。非常にコンパクトなので貼付けの自由度が高いのが特徴です。

    • Feature
      02

      プロセスガスによって異なる変色結果

      酸化還元反応を利用した変色メカニズムとなっているのでプロセスガスによって得られる色が異なります。

    • Feature
      03

      様々な用途例

      • 100~200℃の高温なプラズマ処理
      • 酸素のリークチェック
      • メタルマスクでのパターニングの効果や遮蔽物の影響確認

    動画

    変色性能

    変色性能01

    色差とプラズマ電子密度との相関

    【Arプラズマ(ICP装置)】
    【Arプラズマ(ICP装置)】
    プラズマ電磁密度に対する変色性

    仕様

    PLAZMARK®耐熱ラベル

    対応ガス(プラズマ種):Ar , O₂ , H₂ , CF₄ , SF₆ , Cl₂

    No.101(高感度)
    形状 ラベル
    耐熱性 200℃
    構成 本体:ポリイミド 検知部:無機色材、レジン
    サイズ 本体:16mm×25mm×80μm
    検知部:φ10mm
    入数 10枚
    略号 PLL0203-101
    No.102(低感度)
    形状 ラベル
    耐熱性 200℃
    構成 本体:ポリイミド 検知部:無機色材、レジン
    サイズ 本体:16mm×25mm×80μm
    検知部:φ10mm
    入数 10枚
    略号 PLL0203-102

    ※感度について:No.の値が小さいほど高感度の商品となり、低出力・短時間のプラズマ処理で変色します。シリーズ間での大小は感度と無関係です。
    ※仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承下さい。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。
    ※PLAZMARK®、Plasma Indicator、プラズマ見える化、プラズマインジケータは(株)サクラクレパスの商標または登録商標です。
    ※PLAZMARK®は日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。

    取扱説明書ダウンロード

    Contact

    「自社のこの工程に利用できる?」「こういった使用環境の利用は可能?」など、お気軽にご相談ください。