実装工程 / 後工程向け PLAZMARK® O₂クリーニング用 O₂クリーニング用(No.1～No.3)/Arクリーニング用（No.21～No.23）カード型またはラベル型 O₂クリーニング用(No.1～No.3)/Arクリーニング用（No.21～No.23）シート型
実装工程 / 後工程向け PLAZMARK® Arクリーニング用 O₂クリーニング用(No.1～No.3)/Arクリーニング用（No.21～No.23）カード型またはラベル型 O₂クリーニング用(No.1～No.3)/Arクリーニング用（No.21～No.23）シート型 Arクリーニング用(#20) カード型またはラベル型 Arクリーニング用(#20) シート型
常圧処理工程 / 洗浄工程向け PLAZMARK® ウエハ型 ウエハ型 4インチ サファイア ウエハ型 4インチ シリコン ウエハ型 6インチ シリコン ウエハ型 8インチ シリコン ウエハ型 メタルフリー 4インチ シリコン ウエハ型 メタルフリー 6インチ シリコン ウエハ型 メタルフリー 8インチ シリコン ウエハ型 メタルフリー 12インチ シリコン
