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ウエハ型セラミックタイプ（Si基板）変色の温度依存性

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ウエハ型セラミックタイプ（サファイア基板）変色の温度依存性

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エキシマ洗浄工程への応用事例：ウシオ電機株式会社様

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光の影響（MgF₂カバーの有無と発光の影響）

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活性種挙動の可視化（２）ー　基板バイアスの影響

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生産装置(パナソニックコネクト株式会社製　PSX307-S)での変色例

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活性種挙動の可視化（１）ー　狭空間への活性種の侵入

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O₂クリーニング用 No.3 変色の温度依存性

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Arクリーニング用 No.20 変色の温度依存性

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