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ウエハ型

ウエハ型セラミックタイプ（Si基板）変色の温度依存性

#変色
#温度依存性

ウエハ型セラミックタイプ（サファイア基板）変色の温度依存性

#変色
#温度依存性

エキシマ洗浄工程への応用事例：ウシオ電機株式会社様

#エキシマ洗浄工程
#応用事例

光の影響（MgF₂カバーの有無と発光の影響）

#MgF2カバー

活性種挙動の可視化（２）ー　基板バイアスの影響

#可視化
#基盤バイアス
#活性種挙動

生産装置(パナソニックコネクト株式会社製　PSX307-S)での変色例

#パナソニック
#変色例
#生産装置

活性種挙動の可視化（１）ー　狭空間への活性種の侵入

#可視化
#活性種
#活性種挙動

O₂クリーニング用 No.3 変色の温度依存性

#低感度タイプ
#変色
#温度依存性

Arクリーニング用 No.20 変色の温度依存性

#変色
#温度依存性
#超高感度タイプ

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