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PLAZMARK®　オゾンガスによる変色例(1)

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PLAZMARK®　オゾンガスによる変色例(2)

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O₂クリーニング用No.1変色の温度依存性

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PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　CF₄プラズマ(真空)

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PLAZMARK®ラインナップ間の感度比較　 O₂プラズマ(真空)

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PLAZMARKによるマスキング効果の確認

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ウエハ型セラミックタイプ（Si基板）変色の温度依存性

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ウエハ型セラミックタイプ（サファイア基板）変色の温度依存性

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エキシマ洗浄工程への応用事例：ウシオ電機株式会社様

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