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活性種挙動の可視化(2)ー 基板バイアスの影響

O₂Ar

基板バイアス印加側電極に、O2クリーニング用(No.1)およびArクリーニング用(No.22)のプラズマインジケータを設置し、Arプラズマ処理を実施。各インジケータの変色の基板バイアス依存性をみた。

【テスト方法】

【結果】

基板バイアス印加に応じて(0~50W)、イオンで変色しやすいArクリーニング用インジケータの色差が大きく増加するのに対し、ラジカルで変色するO2クリーニング用インジケータは微増となった。

バイアスによりArイオンの照射量が増加していることを、Arクリーニング用インジケータが検知していると考えられる。